ผิวเคลือบเซรามิก เข้าสู่โซ่จําหน่ายครึ่งตัวนํา
2026-05-15
ปัญหา
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความบริสุทธิ์ของวัสดุในระดับสูงสุด การปนเปื้อนของอนุภาคหรือโลหะใดๆ ในระหว่างการกัดด้วยพลาสมาสามารถทำลายเวเฟอร์มูลค่าหลายพันดอลลาร์ได้ หลายปีที่ผ่านมา ตลาดนี้ถูกครอบงำโดยซัพพลายเออร์จากต่างประเทศเพียงไม่กี่ราย
ความก้าวหน้า
เมื่อวันที่ 16 พฤษภาคม 2569Zhongming Ceramics ประกาศความร่วมมือเชิงกลยุทธ์กับ TSMC และ Ciscoเพื่อจัดหาวัสดุเซรามิกที่สำคัญสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ผลิตภัณฑ์หลักได้แก่:
- อิตเทรียมออกไซด์และอิตเทรียมออกซีฟลูออไรด์เคลือบ– ต้านทานการกัดกร่อนของพลาสมาในห้องแกะสลัก
- หัวจับไฟฟ้าสถิต ESC– ถือเวเฟอร์ระหว่างการประมวลผล
- แพคเกจเซรามิก– จัดให้มีการปิดผนึกอย่างแน่นหนาสำหรับชิป
เหตุใดเซรามิกส์จึงชนะในเซมิคอนดักเตอร์
| คุณสมบัติ | ทำไมมันถึงสำคัญ |
|---|---|
| มีความแข็งมาก | ต้านทานการทิ้งระเบิดด้วยไอออน ช่วยลดอนุภาค |
| ความเฉื่อยทางเคมี | ไม่มีปฏิกิริยากับก๊าซกัดกร่อน |
| ความต้านทานสูง | เปิดใช้งานฟังก์ชันหัวจับไฟฟ้าสถิต |
ความร่วมมือครั้งนี้พิสูจน์ให้เห็นว่าซัพพลายเออร์เซรามิกขั้นสูงสามารถแข่งขันในระดับสูงสุดของการผลิตระดับโลกได้
