새로운 질화규소 세라믹, '경도 대 인성' 딜레마 해결

2026-07-16

최신 회사 사례 새로운 질화규소 세라믹, '경도 대 인성' 딜레마 해결

2026년 6월, 후베이 롱존 연구소 (우한 공과대학이 주도하는) 는새로운 실리콘 나이트라이드 세라믹액체상 Sintering로 생산된 실리콘 나이트라이드 세라믹의 새로운 성능 기록을 세웁니다.

도전 과제

실리콘 나이트라이드 세라믹은 리토그래피와 에칭 장비의 중요한 재료입니다.낮은 온도 소화로 강도가 약화 되면서 동시에 두 가지 특성을 달성하는 것은 불가능합니다..

돌파구

연구팀은공생적인 기둥형 클러스터 미세구조이 재료 안에는 수많은 미세한 "강강 콘크리트 단위"를 구축합니다. 이것은 근본적으로 단단함, 견고함, 강도 사이의 타협을 해결합니다.3개의 부동산에서 동시에 개선.

주요 성능
매개 변수 가치
온도 저항성 1600°C에서 구조적으로 안정성
단단함 다이아몬드 다음으로
무게 전통적인 합금의 40% 만
추가 속성 마모 저항성, 부식 저항성, 높은 열 전도성, 파도에 투명성, 생물 호환성
적용 가능성
  • 반도체 장비:리토그래피 및 에칭 챔버용 정밀 부품

  • 새로운 에너지 차량:800V 고전압 모터 레이어

  • 의료용 임플란트:인공 허리 관절, 척추 융합 장치

이 기술은 실험실 연구 개발을 완료했으며 현재 엔지니어링 상용화 단계에 진입하고 있습니다.