2026-07-16
В июне 2026 года лаборатория Хубэй Лунчжун (под руководством Уханьского университета технологий) успешно разработала новую нитридкремниевую керамику, которая установила новый рекорд производительности для нитридкремниевой керамики, полученной методом жидкофазного спекания.
Нитридкремниевая керамика является критически важным материалом для оборудования для литографии и травления. В традиционных процессах высокотемпературный обжиг ухудшает твердость, а низкотемпературный обжиг снижает ударную вязкость, что делает невозможным одновременное достижение обоих свойств.
Исследовательская группа создала оригинальную симбиотическую столбчатую кластерную микроструктуру – создав бесчисленные микроскопические «армированные бетонные блоки» внутри материала. Это фундаментально решает проблему компромисса между твердостью, ударной вязкостью и прочностью, достигая одновременного улучшения всех трех свойств.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Термостойкость | Структурно стабильна при 1600°C |
| Твердость | Уступает только алмазу |
| Вес | Всего 40% от традиционных сплавов |
| Дополнительные свойства | Износостойкость, коррозионная стойкость, высокая теплопроводность, прозрачность для волн, биосовместимость |
-
Полупроводниковое оборудование: Прецизионные компоненты для камер литографии и травления
-
Новые энергетические транспортные средства: Подшипники приводных двигателей высокого напряжения 800 В
-
Медицинские имплантаты: Искусственные тазобедренные суставы, устройства для спондилодеза
Технология завершила лабораторные НИОКР и в настоящее время переходит в фазу инженерной коммерциализации.
