2026-07-16
در ژوئن ۲۰۲۶، آزمایشگاه هوبی لونگژونگ (به رهبری دانشگاه فناوری ووهان) با موفقیت یک سرامیک نیترید سیلیکون جدید را توسعه داد که رکورد جدیدی از نظر عملکرد برای سرامیکهای نیترید سیلیکون تولید شده با روش تفجوشی فاز مایع به ثبت رساند.
سرامیک نیترید سیلیکون مادهای حیاتی برای تجهیزات لیتوگرافی و اچینگ است. در فرآیندهای سنتی، پخت در دمای بالا سختی را به خطر میاندازد، در حالی که پخت در دمای پایین چقرمگی را تضعیف میکند - دستیابی همزمان به هر دو خاصیت را غیرممکن میسازد.
تیم تحقیقاتی یک ریزساختار اصلی کلونی همزیست ستونی ایجاد کرد - ساخت واحدهای بیشمار "بتن مسلح" میکروسکوپی در داخل ماده. این امر اساساً مشکل تعادل بین سختی، چقرمگی و استحکام را حل میکند و به بهبود همزمان هر سه خاصیت دست مییابد.
| پارامتر | مقدار |
|---|---|
| مقاومت در برابر دما | پایدار از نظر ساختاری در دمای ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد |
| سختی | بعد از الماس در رتبه دوم |
| وزن | فقط ۴۰٪ آلیاژهای سنتی |
| خواص اضافی | مقاوم در برابر سایش، مقاوم در برابر خوردگی، هدایت حرارتی بالا، شفاف به امواج، زیست سازگار |
-
تجهیزات نیمههادی: قطعات دقیق برای محفظههای لیتوگرافی و اچینگ
-
خودروهای انرژی نو: بلبرینگهای موتور محرک ولتاژ بالا ۸۰۰ ولت
-
ایمپلنتهای پزشکی: مفاصل مصنوعی ران، دستگاههای ادغام ستون فقرات
این فناوری تحقیق و توسعه آزمایشگاهی را تکمیل کرده و اکنون وارد مرحله تجاریسازی مهندسی شده است.
