متعدد الطبقات Al2O3 الخاتم السيراميكي الألومينا للشرائح نصف الموصلة الصمامات الهرمية مقاومة البلازما
اسم العلامة التجارية:
XQCERA
رقم الموديل:
التخصيص
مكان المنشأ:
هونان، الصين
شهادة:
IATF16949;ISO9001
موك:
100
سعر:
Customization
موعد التسليم:
20-30 يوم عمل
شروط الدفع:
تحويل سلكي TT
التعبئة والتغليف القياسية:
Carton; كرتون؛ Pallet البليت
تفاصيل المنتج
إبراز:
حلقة السيراميكية من الألومينا متعددة الطبقات,حلقة السيراميكية من الألومينا نصف الموصل,حلقة السيراميكية من الألومينا
,Semiconductor Alumina Ceramic Ring
,Al2O3 Alumina Ceramic Ring
Material:
سيراميك الألومينا (Al₂O₃)
Density:
3.6-3.9 جم/سم3
Hardness:
≥85-90 ساعة
Max Working Temperature:
1600-1700 درجة مئوية
Surface Finish:
أرضي / مصقول / مغلف
Thermal Shock Resistance:
ممتاز
Electrical Insulation:
ممتاز
Corrosion Resistance:
ممتاز
Customization:
الحجم والتسامح والقطر والسمك والثقوب والتمعدن اختياري
Content:
Al₂O₃ (90% / 92% / 95% / 99% / 99.8% ألومينا متوفرة)
Flexural Strength:
300-500 ميجا باسكال
Compressive Strength:
≥2000 ميجا باسكال
Wear Resistance:
ممتاز
Precision Tolerance:
±0.001–0.03 ملم
Color:
أبيض / عاجي
وصف المنتج
مواصفات مفصلة وخصائص
حلقة السيراميكية متعددة الطبقات من الألومينا (Al2O3) لتطبيقات أشباه الموصلات
حلقات السيراميكية من الألومينا متعددة الطبقات عالية الأداء مصممة خصيصاً لعمليات تصنيع أشباه الموصلاتقدرات الختم الهرمي، والنقاء العالي للغاية المطلوب لتطبيقات الحفر والغرف CVD المتطلبة.
بناء السيراميكي عالي النقاء Al2O3 للتطبيقات في مستوى أشباه الموصلات
مقاومة البلازما العالية في بيئات الحفر والعدوى القلبية
خصائص الختم الهرمتيكية الموثوقة لسلامة الغرفة
تصميم متعدد الطبقات لتحسين الأداء الميكانيكي والحراري
خصائص كهربائية ممتازة واستقرار حراري
المواد:
الألومينا عالي النقاء (Al2O3)
البناء:
السيراميك متعدد الطبقات
التطبيق:
غرف عمليات أشباه الموصلات
التوافق مع العملية:
الحفرة ، CVD ، عمليات البلازما
التطبيقات الرئيسية:
مكونات غرف الحفر، أغطية نظام CVD، معدات معالجة البلازما، أدوات تصنيع أشباه الموصلات، وتطبيقات الفراغ العالي التي تتطلب أداء السيراميك الموثوق به.
ربما يعجبك أيضا
رسالة للرد السريع