Meerlaagse Al2O3 Alumina Keramische Ring Voor Semiconductor Hermetische Afdichting Plasma Weerstand
Merknaam:
XQCERA
Modelnummer:
Maatwerk
Plaats van herkomst:
Hunan, China
Certificering:
IATF16949;ISO9001
MOQ:
100
Prijs:
Customization
Levertijd:
20-30 werkdagen
Betalingsvoorwaarden:
TT-overboeking
Standaard verpakking:
Karton; Pallet
Productdetails
Markeren:
Meerlaagse Alumina Keramische Ring
,Semiconductor Alumina Keramische Ring
,Al2O3 Alumina Keramische Ring
Material:
Aluminiumoxide keramiek (Al₂O₃)
Density:
3,6–3,9 g/cm³
Hardness:
≥85–90 HRA
Max Working Temperature:
1600–1700°C
Surface Finish:
Geslepen / gepolijst / gelept
Thermal Shock Resistance:
Uitstekend
Electrical Insulation:
Uitstekend
Corrosion Resistance:
Uitstekend
Customization:
Grootte, tolerantie, diameter, dikte, gaten, metallisatie optioneel
Content:
Al₂O₃ (90% / 92% / 95% / 99% / 99,8% aluminiumoxide beschikbaar)
Flexural Strength:
300–500 MPa
Compressive Strength:
≥ 2000 MPa
Wear Resistance:
Uitstekend
Precision Tolerance:
±0,001–0,03 mm
Color:
Wit/Ivoor
Productbeschrijving
Gedetailleerde specificaties en kenmerken
Meerlagige keramische ring van aluminium (Al2O3) voor halfgeleidertoepassingen
High-performance meerlagige aluminium keramische ringen speciaal ontworpen voor halfgeleider productie processen.hermetische afdichting, en ultrahoge zuiverheid vereist voor veeleisende etch- en CVD-kamera toepassingen.
Al2O3-keramische constructies van hoge zuiverheid voor toepassingen in de semiconductorindustrie
Superieure plasmaweerstand in agressieve etch- en CVD-omgevingen
Betrouwbare hermetische afdichtingseigenschappen voor de integriteit van de kamer
Meerschaalontwerp voor verbeterde mechanische en thermische prestaties
Uitstekende diëlektrische eigenschappen en thermische stabiliteit
Materiaal:
Hoge zuiverheid aluminium (Al2O3)
Bouw:
Meerlaagse keramiek
Toepassing:
Kamers voor halfgeleidersprocessen
Procescompatibiliteit:
Etch, CVD, Plasmaprocessen
Primaire toepassingen:
Etch-kamercomponenten, CVD-systeemdichtingen, plasmaverwerkingsapparatuur, halfgeleiderfabrieksgereedschappen en toepassingen met een hoog vacuüm dat betrouwbare keramische prestaties vereist.
U mag ook van houden
Bericht voor snelle reactie