الدور الحاسم للسيراميك عالي النقاء في تصنيع أشباه الموصلات

في عالم حساس للغاية من تصنيع أشباه الموصلات، يمكن للمواد في الغرفة أن تجعل أو تكسر العائد. السيراميك المتقدمة لا غنى عنها بسبب مزيجها الفريد من الخصائص.

1. نظافة عالية جداًالصفوف مثل 99.8٪ + الألومينا تم تصميمها ليكون لديها الحد الأدنى من تلوث الأيونات المعدنية، ومنع عيوب الدوبينج الوافر.
2. مقاومة حفر البلازما:حاسمة للمكونات داخل غرف الحفر و CVD / PVD.السيراميكات المتخصصة مثل اليتريا (Y2O3) أو مركبات الألومينا اليتريا تتحمل البلازما الفلورية العدوانية بشكل أفضل بكثير من المعادن أو الكوارتز.
3. إدارة الحرارة:يقدم نتريد الألومنيوم (AlN) توصيلًا حراريًا عاليًا (~ 180 W / mK) لتسخين أو تبريد رقائق بشكل فعال على المسامير.
4. استقرار الأبعاد:الحفاظ على التسامح الدقيق والسطحية عبر الدورات الحرارية المتكررة (حتى 400 درجة مئوية +) ، وضمان نتائج عملية متسقة.

• أجهزة الكهرباء الستاتيكية:قواعد الألومينا أو الألن التي تحمل رقائق بقوة كهربائية ثابتة.
• أنظمة توزيع الغاز"رؤوس الاستحمام" والموثلات المصنوعة من السيراميك المقاوم للبلازما لتدفق الغاز المتساوي.
• أدوات الغطاء والمواد الاستهلاكيةحماية جدران الغرفة الدائمة من ترسب العملية والتآكل.
• معالجة الوافر:مؤثرات النهاية، المراوح، والدبابيس التي تقلل من توليد الجسيمات والستاتيكية.

تكلفة الفشل:إنتاج الجسيمات أو التلوث المعدني من مكونات الغرفة يمكن أن يؤدي إلى حطام مجموعة كاملة، وتكلف مئات الآلاف من الدولارات.هذا يجعل موثوقية ونقاء المكونات السيراميكية مساهمة مباشرة في ربحية المصانع.

الاستنتاج:في تصنيع أشباه الموصلات، السيراميك ليست مجرد مادة أخرى؛ فهي تكنولوجيا أساسية تمكن من التصغير المستمر ومكاسب الأداء من الرقائق الدقيقة.