সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে উচ্চ-বিশুদ্ধতা সিরামিকের গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা

অর্ধপরিবাহী উত্পাদনের অতি সংবেদনশীল বিশ্বে, চেম্বার উপকরণগুলি ফলন করতে বা ভাঙতে পারে। উন্নত সিরামিকগুলি তাদের বৈশিষ্ট্যগুলির অনন্য সংমিশ্রণের কারণে অপরিহার্য।

1. অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতাঃ99.8%+ অ্যালুমিনিয়ামের মতো গ্রেডগুলি সর্বনিম্ন ধাতব আয়ন দূষণের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা ওয়েফার ডোপিং ত্রুটিগুলি রোধ করে।
2. প্লাজমা ইট প্রতিরোধেরঃসিভিডি/পিভিডি চেম্বারের অভ্যন্তরে উপাদানগুলির জন্য গুরুত্বপূর্ণ।ইট্রিয়া (Y2O3) বা অ্যালুমিনা-ইট্রিয়া কম্পোজিটগুলির মতো বিশেষ সিরামিকগুলি ধাতু বা কোয়ার্টজের চেয়ে অনেক ভাল আক্রমণাত্মক ফ্লোরিনযুক্ত প্লাজমা প্রতিরোধ করে.
3. তাপীয় ব্যবস্থাপনাঃঅ্যালুমিনিয়াম নাইট্রাইড (AlN) উচ্চ তাপ পরিবাহিতা (~ 180 W / mK) চকের উপর কার্যকরভাবে গরম বা শীতল ওয়েফার সরবরাহ করে।
4. মাত্রিক স্থিতিশীলতাঃপুনরাবৃত্তি তাপীয় চক্র (400 °C + পর্যন্ত) জুড়ে সুনির্দিষ্ট সহনশীলতা এবং সমতলতা বজায় রাখা, ধারাবাহিক প্রক্রিয়া ফলাফল নিশ্চিত করা।

• ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক চাক (ইএসসি):অ্যালুমিনিয়াম বা এলএন বেস যা ইলেক্ট্রোস্ট্যাটিক শক্তির সাথে ওয়েফার ধারণ করে।
• গ্যাস বিতরণ ব্যবস্থাঃ"ডুশ হেড" এবং অভিন্ন গ্যাস প্রবাহের জন্য প্লাজমা-প্রতিরোধী সিরামিক থেকে তৈরি ডিফিউজার।
• চেম্বার লিনার এবং খরচঃস্থায়ী চেম্বারের দেয়ালগুলি প্রক্রিয়া জমাট বাঁধ এবং ক্ষয় থেকে রক্ষা করুন।
• ওয়েফার হ্যান্ডলিং:এন্ড-ইফেক্টর, পেডল, এবং পিন যা কণা উৎপাদন এবং স্ট্যাটিককে কমিয়ে দেয়।

ব্যর্থতার মূল্য:একটি চেম্বারের উপাদান থেকে কণা উৎপত্তি বা ধাতব দূষণ পুরো লট স্ক্র্যাপ হতে পারে, শত শত হাজার ডলার খরচ।এটি সিরামিক উপাদানগুলির নির্ভরযোগ্যতা এবং বিশুদ্ধতাকে কারখানার লাভজনকতার জন্য সরাসরি অবদান রাখে.

উপসংহার:অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে, সিরামিকগুলি কেবলমাত্র অন্য উপাদান নয়; তারা একটি মৌলিক প্রযুক্তি যা মাইক্রোচিপগুলির ক্রমাগত ক্ষুদ্রায়ন এবং কর্মক্ষমতা লাভকে সক্ষম করে।