Yarım iletken üretiminde yüksek saflıkta seramiklerin kritik rolü

Yarı iletken üretiminin son derece hassas dünyasında, hazne malzemeleri verimi artırabilir veya azaltabilir. Gelişmiş seramikler, benzersiz özellik kombinasyonlarından dolayı vazgeçilmezdir.

1. Ultra Yüksek Saflık:%99,8+ alümina gibi kaliteler, minimum düzeyde metalik iyon kirliliğine sahip olacak ve levha katkılama kusurlarını önleyecek şekilde tasarlanmıştır.
2. Plazma Aşındırma Direnci:Aşındırma ve CVD/PVD bölmelerinin içindeki bileşenler için kritiktir. İtriya (Y₂O₃) veya alümina-itriya kompozitleri gibi özel seramikler agresif florlu plazmalara metallerden veya kuvarstan çok daha iyi dayanır.
3. Termal Yönetim:Alüminyum Nitrür (AlN), aynalardaki levhaların etkili bir şekilde ısıtılması veya soğutulması için yüksek termal iletkenlik (~180 W/mK) sunar.
4. Boyutsal Kararlılık:Tekrarlanan termal döngülerde (400°C+'ye kadar) hassas toleransları ve düzlüğü koruyarak tutarlı proses sonuçları sağlayın.

• Elektrostatik Aynalar (ESC'ler):Levhaları elektrostatik kuvvetle tutan alümina veya AlN tabanlar.
• Gaz Dağıtım Sistemleri:Eşit gaz akışı için plazmaya dayanıklı seramikten yapılmış "Duş başlıkları" ve difüzörler.
• Hazne Gömlekleri ve Sarf Malzemeleri:Kalıcı bölme duvarlarını proses birikiminden ve erozyondan koruyun.
• Gofret Kullanımı:Parçacık oluşumunu ve statiği en aza indiren uç efektörler, kürekler ve pimler.

Başarısızlığın Maliyeti:Bir hazne bileşeninden kaynaklanan parçacık oluşumu veya metalik kirlenme, yüzbinlerce dolara mal olacak şekilde tam bir hurdaya yol açabilir. Bu, seramik bileşenlerin güvenilirliğini ve saflığını fabrika karlılığına doğrudan katkıda bulunur.

Çözüm:Yarı iletken üretiminde seramik sıradan bir malzeme değildir; mikroçiplerin sürekli minyatürleştirilmesini ve performans kazanımlarını sağlayan temel bir teknolojidir.