El Papel Crítico de la Cerámica de Alta Pureza en la Fabricación de Semiconductores

En el mundo ultra sensible de la fabricación de semiconductores, los materiales de cámara pueden hacer o romper el rendimiento.

1. Ultra-Alta pureza:Los grados como el 99,8%+ de alumina están diseñados para tener una contaminación mínima de iones metálicos, evitando defectos de dopaje de las obleas.
2. Resistencia a la grabación por plasma:Critical para componentes dentro de cámaras de grabado y CVD/PVD.Las cerámicas especializadas como el yttria (Y2O3) o los compuestos de alumina-yttria resisten los plasmas fluorados agresivos mucho mejor que los metales o el cuarzo.
3. Gestión térmica:El nitruro de aluminio (AlN) ofrece una alta conductividad térmica (~ 180 W / mK) para calentar o enfriar eficazmente las obleas en los chucks.
4. Estabilidad dimensional:Mantener tolerancias precisas y la planitud a través de ciclos térmicos repetidos (hasta 400 °C +), asegurando resultados de proceso consistentes.

• Las partidas de los componentes de las máquinas de la sección 4 del presente anexo deberán estar equipadas con un dispositivo de control de velocidad de la sección 5 del presente anexo.Las bases de alumina o AlN que sostienen obleas con una fuerza electrostática.
• Sistemas de distribución de gas:"Cabezas de ducha" y difusores hechos de cerámica resistente al plasma para un flujo uniforme de gas.
• Los materiales de revestimiento y consumibles de las cámaras:Proteger las paredes permanentes de la cámara de la deposición y la erosión del proceso.
• Manejo de las obleas:Efectores finales, paletas y pines que minimizan la generación de partículas y la estática.

El costo del fracaso:La generación de partículas o la contaminación metálica de un componente de la cámara puede llevar a una partida completa de chatarra, que cuesta cientos de miles de dólares.Esto hace que la fiabilidad y la pureza de los componentes cerámicos contribuyan directamente a la rentabilidad de la fábrica.

Conclusión:En la fabricación de semiconductores, la cerámica no es solo otro material; son una tecnología fundamental que permite la miniaturización continua y las ganancias de rendimiento de los microchips.