半導体製造に関する高純度の陶器の重要な役割

精度,純度,プラズマ耐性

半導体製造の超敏感な世界では室内材料は生産性を向上させたり低下させたりします優れたセラミックは独自の性質の組み合わせにより不可欠です

なぜ陶器がファブに不可欠なのか

超高純度99.8%以上のアルミナなどのグレードは金属離子汚染を最小限に抑えることでウェーファードーピングの欠陥を防ぐように設計されています
プラズマのエッチ抵抗:エッチング室内やCVD/PVD室内のコンポーネントにとって重要ですイトリア (Y2O3) やアルミナ-イトリア複合体のような特殊陶器は,金属や石英よりもはるかに優れた攻撃的なフッ化プラズマに耐える.
熱管理:アルミナイトリド (AlN) は,チャック上のウエフルを効果的に加熱または冷却するために高熱伝導性 (~180 W/mK) を提供します.
次元安定性:繰り返される熱サイクル (最大400°C+) において,正確な許容量と平らさを維持し,一貫したプロセス結果を確保する.

半導体の主要用途:

電気静止チャック (ESC):アルミナまたはALNベースは,静電力によるウエフを保持する.
ガス配送システム:"シャワーヘッド"およびプラズマ耐性セラミク製の分散器,均等なガス流量のために.
室内内装飾品と消耗品:常設の室壁を処理による堆積や侵食から保護する.
ワッフル処理:粒子生成と静止を最小限に抑える

失敗の代償粒子生成や金属汚染が室内の部品から発生すると廃棄物が大量に廃棄され数十万ドルのコストがかかりますこれは,陶器部品の信頼性と純度が工場の収益性に直接貢献することを意味します..

結論は半導体製造において陶器は単なる材料ではなくマイクロチップの小型化と性能向上を継続する基盤技術です