บทบาทสําคัญของเซรามิกความบริสุทธิ์สูงในการผลิตครึ่งนํา
2025-12-23
ความ ชัดเจน ความ สะอาด และ ความ ทน ต่อ แพลซม้า
ในโลกที่มีความละเอียดอ่อนของการผลิตครึ่งประสาท วัสดุห้องสามารถสร้างหรือทําลายผลิต
ทําไมเซรามิกจึงจําเป็นในฟาบ:
- ความบริสุทธิ์สูงสุดสินค้าประเภทเช่น อลูมิเนีย 99.8%+ ได้ถูกออกแบบมาเพื่อให้มีความปนเปื้อนของไอออนโลหะอย่างน้อย ป้องกันความบกพร่องจากการด๊อปเปอร์
- ความต้านทานต่อการบดของพลาสมาสําคัญสําหรับองค์ประกอบภายในห้องถักและห้อง CVD/PVDเซรามิกเฉพาะอย่างเช่น Ytria (Y2O3) หรือผสม Alumina-Ytria ทนต่อพลาสมาฟลอเรนที่รุนแรงดีกว่าโลหะหรือควอตซ์.
- การจัดการความร้อน:อลูมิเนียมไนทไรด์ (AlN) ให้การนําความร้อนสูง (~ 180 W / mK) สําหรับการทําความร้อนหรือทําความเย็นโอฟเฟอร์ในชัคได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- ความมั่นคงของมิติ:รักษาความละเอียดและความราบเรียบที่แม่นยํา ผ่านวงจรความร้อนที่ซ้ําซ้ํา (สูงสุด 400 °C +) เพื่อรับประกันผลการดําเนินงานที่ตรงกัน
การประยุกต์ใช้ครึ่งตัวนําหลัก:
- เครื่องชักไฟฟ้าสแตตติก (ESCs):ฐานอลูมิเนียหรือ AlN ที่ถือโวฟเวอร์ด้วยแรงไฟฟ้าสแตตติก
- ระบบกระจายก๊าซ:"หัวน้ําอาบน้ํา" และเครื่องกระจายผลิตจากเซรามิคที่ทนต่อพลาสมา เพื่อให้มีการไหลของก๊าซที่เท่าเทียมกัน
- เครื่องบรรจุห้องและอุปกรณ์ใช้:ป้องกันผนังห้องคงที่จากกระบวนการฝากและการบด
- การจัดการกับกระดาน:เครื่องผลักดันปลาย เครื่องปั่น และปิน ที่ลดการสร้างอนุภาคและสแตติกให้น้อยที่สุด
ราคา ของ การ ล้มเหลว:การสร้างอนุภาค หรือการปนเปื้อนโลหะจากส่วนประกอบของห้อง สามารถนําไปสู่การใช้สล็อตครบวงจร ที่มีค่าใช้จ่ายเป็นร้อยๆ พันล้านดอลลาร์นี้ทําให้ความน่าเชื่อถือและความบริสุทธิ์ขององค์ประกอบเซรามิก เป็นส่วนร่วมโดยตรงในการสร้างรายได้ fab.
สรุป:ในการผลิตครึ่งตัวนํา เซรามิกไม่ใช่แค่วัสดุอื่นๆ แต่เป็นเทคโนโลยีพื้นฐานที่ทําให้การลดขนาดเล็กและการเพิ่มประสิทธิภาพของไมโครชิปได้ต่อเนื่อง
