सेमीकंडक्टर निर्माण में उच्च-शुद्धता वाली सिरेमिक की महत्वपूर्ण भूमिका

सेमीकंडक्टर निर्माण की अति-संवेदनशील दुनिया में, चैम्बर सामग्री उपज बना या बिगाड़ सकती है। गुणों के अनूठे संयोजन के कारण उन्नत सिरेमिक अपरिहार्य हैं।

1. अति उच्च शुद्धता:99.8%+ एल्युमिना जैसे ग्रेड को न्यूनतम धातु आयन संदूषण के लिए इंजीनियर किया जाता है, जिससे वेफर डोपिंग दोषों को रोका जा सके।
2. प्लाज्मा ईच प्रतिरोध:नक़्क़ाशी और सीवीडी/पीवीडी कक्षों के अंदर के घटकों के लिए महत्वपूर्ण। येट्रिया (Y₂O₃) या एल्युमिना-यट्रिया कंपोजिट जैसे विशिष्ट सिरेमिक धातु या क्वार्ट्ज की तुलना में आक्रामक फ्लोरिनेटेड प्लाज़्मा का कहीं बेहतर सामना करते हैं।
3. थर्मल प्रबंधन:एल्युमीनियम नाइट्राइड (AlN) चक पर वेफर्स को प्रभावी ढंग से गर्म करने या ठंडा करने के लिए उच्च तापीय चालकता (~180 W/mK) प्रदान करता है।
4. आयामी स्थिरता:बार-बार होने वाले तापीय चक्रों (400°C+ तक) के दौरान सटीक सहनशीलता और समतलता बनाए रखें, जिससे निरंतर प्रक्रिया परिणाम सुनिश्चित हो सकें।

• इलेक्ट्रोस्टैटिक चक (ईएससी):एल्युमिना या AlN आधार जो इलेक्ट्रोस्टैटिक बल के साथ वेफर्स को पकड़ते हैं।
• गैस वितरण प्रणाली:समान गैस प्रवाह के लिए प्लाज्मा-प्रतिरोधी सिरेमिक से बने "शॉवरहेड्स" और डिफ्यूज़र।
• चैंबर लाइनर और उपभोग्य वस्तुएं:स्थायी कक्ष की दीवारों को प्रक्रिया जमाव और क्षरण से बचाएं।
• वेफर हैंडलिंग:अंत-प्रभावक, पैडल और पिन जो कण उत्पादन और स्थैतिक को कम करते हैं।

विफलता की कीमत:किसी चैम्बर घटक से कण उत्पादन या धातु संदूषण के कारण पूरा लॉट स्क्रैप हो सकता है, जिसकी लागत सैकड़ों-हजारों डॉलर हो सकती है। यह सिरेमिक घटकों की विश्वसनीयता और शुद्धता को फैब लाभप्रदता में प्रत्यक्ष योगदानकर्ता बनाता है।

निष्कर्ष:सेमीकंडक्टर निर्माण में, सिरेमिक केवल एक अन्य सामग्री नहीं है; वे माइक्रोचिप्स के निरंतर लघुकरण और प्रदर्शन लाभ को सक्षम करने वाली एक मूलभूत तकनीक हैं।