حلقة السيراميك الألومينية متعددة الطبقات Al2O3 توفر مقاومة بلازما متفوقة للغرف الأوروبية للكشف عن أشباه الموصلات وغرف CVD
2026/06/21
حلقات سيراميك متقدمة للتميز في تصنيع أشباه الموصلات في أوروبا
تعلن XQCERA عن توفر أدائها العاليخاتم سيراميك الألومينا Al2O3 متعدد الطبقات، مصمم خصيصًا لتطبيقات حفر البلازما لأشباه الموصلات وغرفة الأمراض القلبية الوعائية. ومع التوسع السريع الذي تشهده صناعة أشباه الموصلات في أوروبا بموجب قانون الرقائق في الاتحاد الأوروبي، أصبح الطلب على مكونات الغرفة الموثوقة وعالية النقاء أكبر من أي وقت مضى.
مصمم لأداء من فئة أشباه الموصلات
تعمل عمليات حفر البلازما وعمليات الأمراض القلبية الوعائية على إخضاع مكونات الغرفة لظروف قاسية - البلازما القوية المعتمدة على الفلور والكلور، والتدوير الحراري، والبيئات المفرغة للغاية. تم تصميم حلقات سيراميك الألومينا متعددة الطبقات من XQCERA لتتفوق في هذه الظروف الصارمة، مما يوفر:
- مقاومة البلازما متفوقة:هيكل Al2O3 عالي النقاء يتحمل كيمياء بلازما الفلور والكلور العدوانية دون تدهور أو توليد جسيمات
- الختم المحكم:تم تصميمها بدقة لضمان سلامة الفراغ الموثوقة في غرف الحفر والترسيب
- درجة نقاء فائقة:يمنع محتوى الشوائب المنخفض تلوث الرقاقة - وهو أمر بالغ الأهمية لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة
- تصميم متعدد الطبقات:تحسين الأداء الميكانيكي والإدارة الحرارية من خلال بنية الطبقة الخاضعة للتحكم
- خصائص عازلة ممتازة:عزل كهربائي فائق لبيئات الترددات اللاسلكية والبلازما
المواصفات الفنية
| المعلمة | مواصفة |
|---|---|
| مادة | ألومينا عالية النقاء (Al2O3) |
| بناء | سيراميك متعدد الطبقات |
| توافق العملية | الحفر، الأمراض القلبية الوعائية، عمليات البلازما |
| أقصى درجة حرارة العمل | 1600-1700ج |
| مقاومة الصدمات الحرارية | ممتاز |
| الشهادات | IATF16949، ISO9001 |
ملاءمة النظام البيئي لأشباه الموصلات الأوروبية
- متوافق مع منصات الحفر وCVD الرائدة التي تستخدمها الشركات المصنعة لأشباه الموصلات الأوروبية
- مناسبة لكل من بيئات معالجة الرقاقة 200 مم و300 مم
- الأبعاد المخصصة متاحة لتصميمات الغرف المحددة ومتطلبات OEM
- دعم النماذج الأولية والتأهيل السريع لمصنعي المعدات الأوروبية
تقدم XQCERA الوثائق الفنية الكاملة وشهادة المواد والدعم الهندسي للتطبيقات. بفضل الحد الأدنى لكمية الطلب المرن والتسليم خلال 20-30 يومًا، نحن في وضع يسمح لنا بدعم كل من متطلبات البحث والتطوير وحجم الإنتاج من عملاء أشباه الموصلات الأوروبيين.
