Wielowarstwowy pierścień ceramiczny z aluminium Al2O3 zapewnia wyższą odporność na plazmę dla europejskich komór półprzewodnikowych i komór CVD

Zaawansowane pierścienie ceramiczne zapewniające doskonałość produkcji półprzewodników w Europie

XQCERA ogłasza dostępność swojej wysokiej wydajnościWielowarstwowy pierścień ceramiczny z tlenku glinu Al2O3, specjalnie zaprojektowane do zastosowań w komorach trawienia plazmowego i CVD. Wraz z szybkim rozwojem europejskiego przemysłu półprzewodników zgodnie z unijną ustawą o chipach, zapotrzebowanie na niezawodne komponenty komór o wysokiej czystości nigdy nie było większe.

Zaprojektowane z myślą o wydajności na poziomie półprzewodników

Procesy trawienia plazmowego i CVD poddają elementy komory ekstremalnym warunkom — agresywnej plazmie fluorowej i na bazie chloru, cyklom termicznym i środowisku o bardzo wysokiej próżni. Wielowarstwowe pierścienie ceramiczne z tlenku glinu firmy XQCERA zostały zaprojektowane tak, aby wyróżniać się w tych wymagających warunkach, zapewniając:

• Doskonała odporność na plazmę:Konstrukcja z wysokiej czystości Al2O3 wytrzymuje agresywne chemikalia plazmy fluorowej i chlorowej bez degradacji lub wytwarzania cząstek
• Hermetyczne uszczelnienie:Precyzyjnie zaprojektowane, aby zapewnić niezawodną integralność próżni w komorach trawienia i osadzania
• Bardzo wysoka czystość:Niska zawartość zanieczyszczeń zapobiega zanieczyszczeniu płytek, co ma kluczowe znaczenie w przypadku zaawansowanej produkcji półprzewodników węzłowych
• Konstrukcja wielowarstwowa:Zwiększona wydajność mechaniczna i zarządzanie temperaturą dzięki kontrolowanej architekturze warstw
• Doskonałe właściwości dielektryczne:Doskonała izolacja elektryczna w środowiskach RF i plazmowych

Dane techniczne

Dopasowanie europejskiego ekosystemu półprzewodników

• Kompatybilny z wiodącymi platformami trawienia i CVD używanymi przez europejskich producentów półprzewodników
• Nadaje się do środowisk obróbki płytek o średnicy 200 mm i 300 mm
• Wymiary niestandardowe dostępne dla konkretnych projektów komór i wymagań OEM
• Szybkie prototypowanie i wsparcie kwalifikacyjne dla europejskich producentów sprzętu

XQCERA oferuje pełną dokumentację techniczną, certyfikację materiałów i wsparcie w zakresie inżynierii zastosowań. Dzięki elastycznemu MOQ i dostawie w ciągu 20–30 dni jesteśmy w stanie sprostać wymaganiom europejskich klientów zajmujących się półprzewodnikami zarówno w skali badawczo-rozwojowej, jak i wielkości produkcji.