Vòng gốm Alumina Al2O3 nhiều lớp mang lại khả năng kháng plasma vượt trội cho buồng ăn mòn chất bán dẫn châu Âu và buồng CVD

Nhẫn gốm tiên tiến cho sự xuất sắc trong sản xuất bán dẫn của châu Âu

XQCERA công bố khả năng sử dụng hiệu suất cao của nóVòng gốm nhôm nhiều lớp Al2O3, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng châm CVD và châm plasma bán dẫn.các thành phần pha chế độ tinh khiết cao chưa bao giờ lớn hơn.

Được thiết kế cho hiệu suất cấp bán dẫn

Các quá trình khắc plasma và CVD làm cho các thành phần của buồng chịu những điều kiện khắc nghiệt - plasma dựa trên fluor và clo hung hăng, chu kỳ nhiệt và môi trường chân không cực cao.XQCERA của nhiều lớp nhôm kim loại vòng được thiết kế để vượt trội trong những điều kiện đòi hỏi khắt khe, cung cấp:

• Phòng chống plasma cao hơn:Xây dựng Al2O3 tinh khiết cao chịu được hóa chất phlúi và clo trong plasma hung hăng mà không bị phân hủy hoặc tạo ra hạt
• Dập kín kín:Thiết kế chính xác cho tính toàn vẹn chân không đáng tin cậy trong các buồng khắc và lắng đọng
• Độ tinh khiết cực cao:Hàm lượng tạp chất thấp ngăn ngừa ô nhiễm wafer - quan trọng đối với sản xuất bán dẫn nút tiên tiến
• Thiết kế đa lớp:Hiệu suất cơ học và quản lý nhiệt được cải thiện thông qua kiến trúc lớp được kiểm soát
• Tính chất điện đệm tuyệt vời:Độ cách điện vượt trội cho môi trường RF và plasma

Thông số kỹ thuật

Phù hợp hệ sinh thái bán dẫn châu Âu

• Tương thích với các nền tảng etch và CVD hàng đầu được sử dụng bởi các nhà sản xuất bán dẫn châu Âu
• Thích hợp cho cả môi trường xử lý wafer 200mm và 300mm
• Kích thước tùy chỉnh có sẵn cho các thiết kế buồng cụ thể và yêu cầu OEM
• Hỗ trợ tạo mẫu nhanh và cấp bằng cho các nhà sản xuất thiết bị châu Âu

XQCERA cung cấp đầy đủ tài liệu kỹ thuật, chứng nhận vật liệu và hỗ trợ kỹ thuật ứng dụng.chúng tôi có vị trí để hỗ trợ cả quy mô R & D và yêu cầu sản xuất khối lượng từ khách hàng bán dẫn châu Âu.