حلقه سرامیکی آلومینیوم چند لایه ای Al2O3 مقاومت پلاسما برتر را برای اتاق های European Semiconductor Etch و CVD ارائه می دهد
2026/06/21
حلقه های سرامیکی پیشرفته برای برتری تولید نیمه هادی اروپا
XQCERA در حال اعلام در دسترس بودن خود را با عملکرد بالاحلقه سرامیکی آلومینیوم Al2O3 چند لایه ای، که به طور خاص برای استفاده از سیمیکوندکتورها و اتاق های CVD طراحی شده است. با گسترش سریع صنعت سیمیکوندکتورهای اروپا تحت قانون چیپ های اتحادیه اروپا، تقاضا برایقطعات اتاقی با پاکیزه ی بالا هیچ وقت بیشتر نبوده.
طراحی شده برای عملکرد نیمه هادی
پردازش های کندهای پلاسما و CVD اجزای اتاق را در شرایط شدید قرار می دهند - پلاسمای پرخاشگر فلور و کلر ، چرخه حرارتی و محیط های خلاء فوق العاده بالا.حلقه های سرامیکی آلومینیوم چند لایه ای XQCERA برای برتری در این شرایط سخت طراحی شده اند، با ارائه:
- مقاومت پلاسما برتر:ساخت Al2O3 با خلوص بالا بدون تخریب یا تولید ذرات در برابر مواد شیمیایی پلاسمای فلور و کلر مقاوم است
- مهر و موم هیرمیتیک:مهندسی دقیق برای یکپارچگی خلاء قابل اعتماد در اتاق های حک و رسوب
- خالصيت فوق العاده بالا:محتوای کم ناخالصی از آلودگی وافره جلوگیری می کند - برای تولید نیمه هادی گره پیشرفته حیاتی است
- طرح چند لایه:بهبود عملکرد مکانیکی و مدیریت حرارتی از طریق معماری لایه کنترل شده
- خواص دی الکتریک عالی:عایق الکتریکی برتر برای محیط های RF و پلاسما
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| مواد | آلومینیوم با طهارت بالا (Al2O3) |
| ساخت و ساز | سرامیک چند لایه ای |
| سازگاری فرآیند | برهم زدن، CVD، فرآیندهای پلاسما |
| حداکثر دمای کار | 1600-1700C |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | عالی بود |
| گواهینامه | IATF16949، ISO9001 |
مناسب برای اکوسیستم نیمه هادی اروپا
- سازگاری با سیستم عامل های برجسته ایچ و CVD که توسط تولید کنندگان نیمه هادی اروپایی استفاده می شود
- مناسب برای هر دو محیط پردازش وافره 200mm و 300mm
- ابعاد سفارشی در دسترس برای طرح های خاص اتاق و الزامات OEM
- نمونه سازی سریع و پشتیبانی از صلاحیت برای سازندگان تجهیزات اروپایی
XQCERA ارائه می دهد اسناد فنی کامل، گواهینامه مواد، و پشتیبانی مهندسی برنامه کاربردی. با انعطاف پذیر MOQ و 20-30 روز تحویل،ما موقعیت داریم تا از هر دو مقیاس تحقیق و توسعه و حجم تولید از مشتریان نیمه هادی اروپایی پشتیبانی کنیم.
