मल्टीलेयर Al2O3 एल्युमिना सिरेमिक रिंग यूरोपीय सेमीकंडक्टर ईच और सीवीडी चैंबर्स के लिए बेहतर प्लाज्मा प्रतिरोध प्रदान करती है
2026/06/21
यूरोप के अर्धचालक विनिर्माण उत्कृष्टता के लिए उन्नत सिरेमिक रिंग
एक्सक्यूसीईआरए ने अपने उच्च प्रदर्शन वालेबहुपरत Al2O3 एल्युमिनियम सिरेमिक रिंग, विशेष रूप से अर्धचालक प्लाज्मा उत्कीर्णन और सीवीडी कक्ष अनुप्रयोगों के लिए बनाया गया है।उच्च शुद्धता कक्ष घटकों कभी भी अधिक किया गया है.
अर्धचालक-ग्रेड प्रदर्शन के लिए इंजीनियर
प्लाज्मा उत्कीर्णन और सीवीडी प्रक्रियाएं कक्ष के घटकों को चरम परिस्थितियों में डालती हैं - आक्रामक फ्लोरिन और क्लोरिन आधारित प्लाज्मा, थर्मल साइक्लिंग और अति-उच्च वैक्यूम वातावरण।XQCERA के बहुपरत एल्यूमीनियम सिरेमिक छल्ले इन कठिन परिस्थितियों में उत्कृष्टता के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जो निम्नलिखित प्रदान करता हैः
- उच्च प्लाज्मा प्रतिरोधःउच्च शुद्धता Al2O3 निर्माण अपघटन या कणों के उत्पादन के बिना आक्रामक फ्लोरीन और क्लोरीन प्लाज्मा रसायनों का सामना करता है
- हेर्मेटिक सीलिंग:उत्कीर्णन और जमाव कक्षों में विश्वसनीय वैक्यूम अखंडता के लिए परिशुद्धता इंजीनियरिंग
- अति-उच्च शुद्धताःकम अशुद्धता सामग्री वेफर के संदूषण को रोकती है - उन्नत नोड अर्धचालक निर्माण के लिए महत्वपूर्ण
- बहुस्तरीय डिजाइनःनियंत्रित परत वास्तुकला के माध्यम से मैकेनिकल प्रदर्शन और थर्मल प्रबंधन में सुधार
- उत्कृष्ट विद्युतरोधक गुण:आरएफ और प्लाज्मा वातावरण के लिए बेहतर विद्युत इन्सुलेशन
तकनीकी विनिर्देश
| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| सामग्री | उच्च शुद्धता वाला एल्युमिनियम (Al2O3) |
| निर्माण | बहुस्तरीय सिरेमिक |
| प्रक्रिया संगतता | उत्कीर्णन, सीवीडी, प्लाज्मा प्रक्रियाएं |
| अधिकतम कार्य तापमान | 1600-1700C |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध | उत्कृष्ट |
| प्रमाणपत्र | आईएटीएफ16949, आईएसओ9001 |
यूरोपीय अर्धचालक पारिस्थितिकी तंत्र फिट
- यूरोपीय अर्धचालक निर्माताओं द्वारा उपयोग किए जाने वाले अग्रणी एच और सीवीडी प्लेटफार्मों के साथ संगत
- दोनों 200mm और 300mm वेफर प्रसंस्करण वातावरण के लिए उपयुक्त
- विशिष्ट कक्ष डिजाइन और OEM आवश्यकताओं के लिए उपलब्ध कस्टम आयाम
- यूरोपीय उपकरण निर्माताओं के लिए त्वरित प्रोटोटाइप और योग्यता सहायता
XQCERA पूर्ण तकनीकी प्रलेखन, सामग्री प्रमाणन, और अनुप्रयोग इंजीनियरिंग समर्थन प्रदान करता है। लचीले MOQ और 20-30 दिन की डिलीवरी के साथ,हम यूरोपीय अर्धचालक ग्राहकों से अनुसंधान एवं विकास पैमाने और उत्पादन मात्रा दोनों आवश्यकताओं का समर्थन करने के लिए तैनात हैं.
