Πολυεπίπεδο κεραμικό δαχτυλίδι αλουμινίου Al2O3 παρέχει ανώτερη αντοχή στο πλάσμα για τις ευρωπαϊκές αίθουσες διάτρησης ημιαγωγών και CVD
2026/06/21
Προηγμένοι κεραμικοί δακτύλιοι για την αριστεία κατασκευής ημιαγωγών στην Ευρώπη
Η XQCERA ανακοινώνει τη διαθεσιμότητα των υψηλών επιδόσεων τηςΚεραμικός δακτύλιος πολυστρωματικής αλουμίνας Al2O3, ειδικά σχεδιασμένο για εφαρμογές χάραξης πλάσματος ημιαγωγών και θαλάμων CVD. Με τη βιομηχανία ημιαγωγών της Ευρώπης να επεκτείνεται με ταχείς ρυθμούς βάσει του νόμου EU Chips Act, η ζήτηση για αξιόπιστα, υψηλής καθαρότητας εξαρτήματα θαλάμου δεν ήταν ποτέ μεγαλύτερη.
Σχεδιασμένο για απόδοση ημιαγωγών
Οι διεργασίες χάραξης πλάσματος και CVD υποβάλλουν τα συστατικά του θαλάμου σε ακραίες συνθήκες - επιθετικά πλάσμα με βάση το φθόριο και το χλώριο, τον θερμικό κύκλο και τα περιβάλλοντα εξαιρετικά υψηλού κενού. Οι πολυστρωματικοί κεραμικοί δακτύλιοι αλουμίνας της XQCERA έχουν σχεδιαστεί για να υπερέχουν σε αυτές τις απαιτητικές συνθήκες, παρέχοντας:
- Ανώτερη αντίσταση στο πλάσμα:Η κατασκευή Al2O3 υψηλής καθαρότητας αντέχει σε επιθετικές χημικές ουσίες πλάσματος φθορίου και χλωρίου χωρίς αποδόμηση ή δημιουργία σωματιδίων
- Ερμητική Σφράγιση:Σχεδιασμένο με ακρίβεια για αξιόπιστη ακεραιότητα κενού στους θαλάμους χάραξης και εναπόθεσης
- Εξαιρετικά Υψηλή Καθαρότητα:Η χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες αποτρέπει τη μόλυνση του πλακιδίου - κρίσιμης σημασίας για την προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών κόμβων
- Σχεδίαση πολλαπλών επιπέδων:Βελτιωμένη μηχανική απόδοση και θερμική διαχείριση μέσω αρχιτεκτονικής ελεγχόμενης στρώσης
- Εξαιρετικές διηλεκτρικές ιδιότητες:Ανώτερη ηλεκτρική μόνωση για περιβάλλοντα ραδιοσυχνοτήτων και πλάσματος
Τεχνικές Προδιαγραφές
| Παράμετρος | Προσδιορισμός |
|---|---|
| Υλικό | Αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (Al2O3) |
| Κατασκευή | Κεραμικό πολλαπλών στρώσεων |
| Συμβατότητα διαδικασίας | Διεργασίες Etch, CVD, Plasma |
| Μέγιστη θερμοκρασία εργασίας | 1600-1700C |
| Αντοχή σε θερμικό σοκ | Εξοχος |
| Πιστοποιήσεις | IATF16949, ISO9001 |
European Semiconductor Ecosystem Fit
- Συμβατό με κορυφαίες πλατφόρμες etch και CVD που χρησιμοποιούνται από Ευρωπαίους κατασκευαστές ημιαγωγών
- Κατάλληλο για περιβάλλοντα επεξεργασίας πλακιδίων 200mm και 300mm
- Προσαρμοσμένες διαστάσεις διαθέσιμες για συγκεκριμένα σχέδια θαλάμων και απαιτήσεις OEM
- Ταχεία κατασκευή πρωτοτύπων και υποστήριξη πιστοποίησης για ευρωπαίους κατασκευαστές εξοπλισμού
Το XQCERA προσφέρει πλήρη τεχνική τεκμηρίωση, πιστοποίηση υλικού και τεχνική υποστήριξη εφαρμογών. Με ευέλικτο MOQ και παράδοση 20-30 ημερών, είμαστε σε θέση να υποστηρίζουμε απαιτήσεις τόσο σε κλίμακα Ε&Α όσο και σε όγκο παραγωγής από Ευρωπαίους πελάτες ημιαγωγών.
