Meerlaagse Al2O3-aluminiumoxide keramische ring levert superieure plasmaweerstand voor Europese halfgeleiderets- en CVD-kamers
2026/06/21
Geavanceerde keramische ringen voor de Europese topkwaliteit in de halfgeleiderproductie
XQCERA kondigt de beschikbaarheid aan van zijn high-performanceAl2O3 meerlaagse aluminium keramische ringMet de snelle uitbreiding van de Europese halfgeleiderindustrie in het kader van de EU-chipwet, is de vraag naar betrouwbare,de zuiverheid van de kamercomponenten is nog nooit zo hoog geweest.
Geconstrueerd voor halfgeleiderprestaties
Plasma-etch en CVD-processen onderwerpen kamercomponenten aan extreme omstandigheden - agressieve fluor- en chloorgebaseerde plasmas, thermische cycli en ultra-hoge vacuümomgevingen.XQCERA's meerlaagse aluminium keramische ringen zijn ontworpen om uit te blinken in deze veeleisende omstandigheden, waarbij wordt bepaald:
- Superieure plasmaweerstand:Hoge zuiverheid Al2O3-constructie bestand tegen agressieve fluor en chloor plasma chemie zonder afbraak of deeltjes generatie
- Hermetische afdichting:Precies ontworpen voor betrouwbare vacuümintegriteit in etch- en afzettingskamers
- Ultrahoge zuiverheid:Laag onzuiverheidsgehalte voorkomt besmetting van wafers - cruciaal voor geavanceerde knooppunt halfgeleiderproductie
- Meerschaalontwerp:Verbeterde mechanische prestaties en thermisch beheer door middel van gecontroleerde laagarchitectuur
- Uitstekende dielectrische eigenschappen:Superieure elektrische isolatie voor RF- en plasmaomgevingen
Technische specificaties
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Materiaal | Hoge zuiverheid aluminium (Al2O3) |
| Bouw | Meerlaagse keramiek |
| Procescompatibiliteit | Etch, CVD, Plasmaprocessen |
| Maximale werktemperatuur | 1600-1700C |
| Thermische schokbestendigheid | Uitstekend. |
| Certificeringen | IATF16949, ISO9001 |
European Semiconductor Ecosystem Fit
- Compatibel met toonaangevende etch- en CVD-platforms die door Europese halfgeleiderfabrikanten worden gebruikt
- Geschikt voor zowel 200 mm als 300 mm waferverwerkingsomgevingen
- Op maat gemaakte afmetingen beschikbaar voor specifieke kamerontwerpen en OEM-vereisten
- Rapid prototyping en kwalificatiesteun voor Europese apparatuurfabrikanten
XQCERA biedt volledige technische documentatie, materiaalcertificering en applicatie engineering ondersteuning.we zijn in staat om zowel de vraag naar R & D-schaal als de vraag naar productievolume van Europese halfgeleiderklanten te ondersteunen.
