Çok Katmanlı Al2O3 Alümina Seramik Halka, Avrupa Yarı İletken Aşındırma ve CVD Odaları için Üstün Plazma Direnci Sağlıyor
2026/06/21
Avrupa'nın Yarı İletken Üretim Mükemmelliği için Gelişmiş Seramik Halkalar
XQCERA, yüksek performanslı modelinin kullanıma sunulduğunu duyurduÇok Katmanlı Al2O3 Alümina Seramik Halkayarı iletken plazma aşındırma ve CVD odası uygulamaları için özel olarak tasarlanmıştır. Avrupa'nın yarı iletken endüstrisi AB Çip Yasası uyarınca hızla genişlerken, güvenilir, yüksek saflıkta hazne bileşenlerine olan talep hiç bu kadar fazla olmamıştı.
Yarı İletken Sınıfında Performans için Tasarlandı
Plazma aşındırma ve CVD işlemleri, hazne bileşenlerini aşırı koşullara (agresif flor ve klor bazlı plazmalar, termal döngü ve ultra yüksek vakum ortamları) maruz bırakır. XQCERA'nın çok katmanlı alümina seramik halkaları bu zorlu koşullarda üstün performans gösterecek şekilde tasarlanmıştır ve şunları sağlar:
- Üstün Plazma Direnci:Yüksek saflıkta Al2O3 yapısı, bozulma veya parçacık oluşumu olmaksızın agresif flor ve klor plazma kimyalarına dayanır
- Hermetik Sızdırmazlık:Aşındırma ve biriktirme odalarında güvenilir vakum bütünlüğü için hassas bir şekilde tasarlanmıştır
- Ultra Yüksek Saflık:Düşük yabancı madde içeriği, yonga levhanın kirlenmesini önler; gelişmiş düğüm yarı iletken üretimi için kritik öneme sahiptir
- Çok Katmanlı Tasarım:Kontrollü katman mimarisi sayesinde gelişmiş mekanik performans ve termal yönetim
- Mükemmel Dielektrik Özellikler:RF ve plazma ortamları için üstün elektrik yalıtımı
Teknik Özellikler
| Parametre | Şartname |
|---|---|
| Malzeme | Yüksek Saflıkta Alümina (Al2O3) |
| Yapı | Çok Katmanlı Seramik |
| Proses Uyumluluğu | Aşındırma, CVD, Plazma Prosesleri |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 1600-1700C |
| Termal Şok Direnci | Harika |
| Sertifikalar | IATF16949, ISO9001 |
Avrupa Yarı İletken Ekosistemi Uyumluluğu
- Avrupalı yarı iletken üreticileri tarafından kullanılan önde gelen asitleme ve CVD platformlarıyla uyumludur
- Hem 200mm hem de 300mm gofret işleme ortamlarına uygundur
- Belirli oda tasarımları ve OEM gereksinimleri için özel boyutlar mevcuttur
- Avrupalı ekipman üreticileri için hızlı prototip oluşturma ve kalifikasyon desteği
XQCERA eksiksiz teknik dokümantasyon, malzeme sertifikasyonu ve uygulama mühendisliği desteği sunar. Esnek MOQ ve 20-30 günlük teslimatla, Avrupalı yarı iletken müşterilerin hem Ar-Ge ölçeğini hem de üretim hacmi gereksinimlerini destekleyecek konumdayız.
