Многослойное керамическое кольцо из оксида алюминия Al2O3 обеспечивает превосходную плазменную стойкость для европейских камер травления полупроводников и CVD-камер.
2026/06/21
Усовершенствованные керамические кольца для европейского производства полупроводников
XQCERA объявляет о доступности своего высокопроизводительногоМногослойное керамическое кольцо из глинозема Al2O3, специально разработанный для плазменного травления полупроводников и камер CVD. В связи с быстрым ростом европейской полупроводниковой промышленности в соответствии с Законом ЕС о микросхемах спрос на надежные компоненты камер высокой чистоты никогда не был таким большим.
Разработан для обеспечения производительности полупроводникового уровня
Процессы плазменного травления и CVD подвергают компоненты камеры воздействию экстремальных условий — агрессивной плазмы на основе фтора и хлора, термоциклирования и среды сверхвысокого вакуума. Многослойные кольца из оксида алюминия XQCERA созданы для того, чтобы превосходно работать в таких суровых условиях, обеспечивая:
- Превосходное сопротивление плазме:Конструкция из Al2O3 высокой чистоты выдерживает агрессивные химические процессы в плазме фтора и хлора без деградации или образования частиц.
- Герметическое уплотнение:Прецизионная конструкция для надежной целостности вакуума в камерах травления и осаждения.
- Сверхвысокая чистота:Низкое содержание примесей предотвращает загрязнение пластин, что крайне важно для современного производства полупроводниковых узлов.
- Многослойный дизайн:Улучшенные механические характеристики и управление температурным режимом благодаря архитектуре контролируемых слоев.
- Отличные диэлектрические свойства:Превосходная электрическая изоляция для радиочастотных и плазменных сред
Технические характеристики
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Материал | Глинозем высокой чистоты (Al2O3) |
| Строительство | Многослойная керамика |
| Совместимость процессов | Травление, CVD, плазменные процессы |
| Максимальная рабочая температура | 1600-1700С |
| Устойчивость к термическому удару | Отличный |
| Сертификаты | ИАТФ16949, ИСО9001 |
Европейская полупроводниковая экосистема соответствует требованиям
- Совместимость с ведущими платформами травления и CVD, используемыми европейскими производителями полупроводников.
- Подходит для сред обработки пластин диаметром 200 и 300 мм.
- Доступны нестандартные размеры для конкретных конструкций камер и требований OEM.
- Быстрое прототипирование и квалификационная поддержка для европейских производителей оборудования
XQCERA предлагает полную техническую документацию, сертификацию материалов и техническую поддержку. Благодаря гибкому минимальному заказу и доставке в течение 20–30 дней мы способны удовлетворить потребности европейских заказчиков полупроводников как в масштабах исследований и разработок, так и в объемах производства.
